半導體超純水設備(bèi)是應用於(yú)半導體生産零件清洗的超純水設備(bèi)，需要符合特定的用水水質标準,半導體超純(chún)水設備(bèi)出水水質要符合美國ASTM純(chún)水水質标準、我國電子工業電子級水質技術标準(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm)我國電子工業超純(chún)水水質試行标準、半導體工業用純(chún)水指标、集成電路水質标準。

半導(dǎo)體(semiconductor)，指常溫下導(dǎo)電性能介於(yú)導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。半導(dǎo)體材料很多，按化學成分可分爲元素半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體兩大類。鍺和矽是最常用的元素半導(dǎo)體;化合物半導(dǎo)體包括Ⅲ-Ⅴ族化合物：砷化镓、磷化镓等;Ⅱ-Ⅵ族化合物：硫化镉、硫化鋅等;氧化物：錳、鉻、鐵、銅的氧化物，以及由Ⅲ-Ⅴ族化合物和Ⅱ-Ⅵ族化合物組成的固溶體：镓鋁砷、镓砷磷等
。除上述晶态半導(dǎo)體外，還有非晶态的玻璃半導(dǎo)體、有機半導(dǎo)體等。

電去離子（Electrodeionization）簡稱(chēng)EDI，是一種将離子交換技術，離子交換膜技術和離子電遷移技術相結合的純水制造技術。屬高科技綠色環保技術。EDI淨水設備(bèi)具有連續出水、無需酸堿再生和無人值守等優點，已在制備(bèi)純水的系統中逐步代替混床作爲精處理設備(bèi)使用。這種先進技術的環保特性好，操作使用簡便，愈來愈多地被人們所認可，也愈來愈多廣泛地在醫藥、電子、電力、化工等行業得到推廣。